扫描探针显微镜是利用探针针尖尖端原子与样品表面原子或分子存在极微弱的引力或斥力，使得探针微悬臂发生不同程度的弯曲，最终会导致激光在检测器上的位置发生变化，从而得到样品的表面形貌信息。由于探针针尖直接作用于样品表面，因此其针尖的尺寸对于样品的表面形貌测试非常重要。本文采用扫描探针显微镜，使用不同曲率半径的探针，对相同样品的表面形貌进行了对比测试，希望能够帮助大家对SPM测试时的探针选型提供一定的指导参考。