本研究采用XPS技术对无涂层的310S不锈钢样品和表面带有ALD-Al₂O₃涂层的310S不锈钢样品进行表面对比分析。通过全谱可以定量评估样品在高温氧化环境下的表面元素扩散行为和涂层的保护机制,通过精细谱可以对Cr元素价态进行分析,为减少有毒化合物生成提供依据,通过成像可以对涂层的均匀性进行评估。XPS技术可以与多项分析技术进行交叉验证,充分展示了其在涂层表面研究中的应用深度,为类似材料的表面工程研究提供了参考。