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应用XRD薄膜附件测试ITO膜晶体结构
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应用XRD薄膜附件测试ITO膜晶体结构
2021.06.18
类型: 应用报告
浏览:505
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铟锡氧化物(ITO)薄膜是性能最为优异的透明导电薄膜。薄膜的结晶状态极大的影响薄膜的导电性能和透光性能。本文使用岛津X射线衍射仪,配置薄膜附件,测试了透明导电氧化物ITO薄膜,比较了两种不同的衍射几何得到的XRD谱图,结果表明掠入射非对称衍射几何可以得到更佳信噪比的谱图。物相解析结果表明,ITO膜为体心立方结构,与In2O3结构相同。膜层结晶良好,呈现多晶状态,还存有一定的(100)择优取向。这个例子充分展示了岛津XRD薄膜附件在薄膜样品分析中的优势。
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