铟锡氧化物(ITO)薄膜是性能最为优异的透明导电薄膜。薄膜的结晶状态极大的影响薄膜的导电性能和透光性能。本文使用岛津X射线衍射仪，配置薄膜附件，测试了透明导电氧化物ITO薄膜，比较了两种不同的衍射几何得到的XRD谱图，结果表明掠入射非对称衍射几何可以得到更佳信噪比的谱图。物相解析结果表明，ITO膜为体心立方结构，与In2O3结构相同。膜层结晶良好，呈现多晶状态，还存有一定的(100)择优取向。这个例子充分展示了岛津XRD薄膜附件在薄膜样品分析中的优势。