甲基氯硅烷直接合成中，三元铜催化剂（Cu、Cu2O及CuO）因其高催化活性等优点获得了广泛使用，其组成比例与催化性能密切相关。本文使用岛津XRD-7000测试了铜粉部分氧化法生产的三元铜催化剂，对得到的谱图进行了Rietveld精修，拟合结果良好，Rwp为3.8%，通过精修给出了三元铜中各物相的含量。这些结果对于三元铜催化剂的生产研发和质量控制有着重要意义。