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岛津高能Ag靶在GaN半导体材料表征中的应用
2019.04.17类型: 应用报告浏览:14
本文分别采用单色Al靶、单色Ag靶、双阳极Mg靶作为X射线源表征GaN半导体材料,可以得到三种靶材时的各元素精细谱结果,单色Ag靶作为激发源时可以使Ga LMM俄歇峰与N 1s主峰有效分离,得到准确的化学态分析结果。
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