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SMX-6000观察碳化硅MOSFET内部结构
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SMX-6000观察碳化硅MOSFET内部结构
2021.07.13
类型: 应用报告
浏览:156
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本文介绍了一个运用SMX-6000微焦点X射线检查装置的X射线透视及CT对碳化硅MOSFET的实例观察。针对碳化硅MOSFET进行透视,观察发现内部碳化硅晶片和铜基体的焊料部分有白色气泡。侧立时发现是使用铝线和碳化硅晶片进行连接。针对透视图中碳化硅晶片焊接部分使用CT扫描,能够清晰观察出内部气泡,并进行测量。
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