全氟和多氟烷基物质（PFAS）是公认的具有健康和环境问题的环境污染物，因为它们可能具有毒性、持久性，并且在环境、消费品和工业产品中普遍存在。PFAS包括一大类具有不同物理化学性质的化学品。这些性质会影响它们的毒性和环境归宿。此外，需要不同的分析技术来监测这些不同的类别。本研究中评价的PFAS类别包括PFI、FTI、FTAC、FTMAC、FTOH和FASA。   在本应用中，开发了一种顶空固相微萃取-气相色谱/质谱（HS-SPME GCMS）分析方法来分析水中的挥发性PFAS。目前，已经确定了几种PFAS标准方法，如EPA方法1633、8327、533和537.1。所有这些方法都通过液

使用TOC-V分析仪，可以简便地测定氯碱行业使用的高盐水中总有机碳含量，从而起到提高离子膜系统寿命的作用。

本文利用岛津GCMS-QP2020 NX气质联用仪结合液氮制冷型大气预浓缩仪，建立了半导体制造厂洁净室内117种有机污染物的测定方法。结果显示：在0.1~10.0 nmol/mol浓度范围内，各组分标准曲线线性良好，相关系数均在0.995以上。以浓度为0.5 nmol/mol的标气连续进样5次，各组分峰面积RSD均小于5%，精密度良好。该方法操作简单，定量数据准确可靠，可用于半导体制造厂洁净室内有机污染物的检测。