半导体企业生产制造过程是一个高水耗过程，且纯水水质对产品品质有至关重要的影响。为确保出水水质符合要求，制备超纯水时需对重要环节的进出水进行监测，监测指标包含总有机碳(TOC)、导电度或水阻值等。通过实时监测掌握水质变化情况，尽早发现问题并采取措施，保证生产用水的品质需求。半导体企业生产废水由有机废水、含氟废水、研磨废水、酸碱废水等混合而成，水污染物包含悬浮物、有机污染物、氨氮等，成分复杂，主要监测指标为COD/TOC、氨氮、铜、PH等。此外，半导体企业生产过程中还会排放有机废气、酸性废气、碱性废气等，包含大量挥发性有机物(VOCs)。VOCs作为我国大气污染防治联防联控的重要污染物，需对进行监

本方法参考GB/T 38789-2020《口腔清洁护理用品 牙膏中10种元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》制定。

本次发布的IRSpirit是一款紧凑的FTIR，它结合了同类最佳的SN比和最高的分辨率（图1）。我们采用了独特的设计，可以双向摆放，整机尺寸为390（W）×250（D）×210（H）mm，小于A3尺寸，因此可放置在狭窄空间。除了用于透射测定的附件，如液体池和KBr压片，还有一些功能，您可以使用现有的配件，如一次反射型ATR测定装置和漫反射测定设备，以及市售配件。此外，在进行IRSpirit系列的装置控制、数据解析的软件LabSolutions IR中，有一个专用程序（IR Pilot），能简便地执行4种测定和解析，如确认试验、异物解析、定量分析、膜厚测定。该功能仅根据画