本文使用岛津GC-2014气相色谱仪，双通道，两阀四柱，双TCD系统，结合用户实际情况建立了NF3生产中控样品的连续、在线分析方法，可在12min以内完成对H2、N2、CF4、CO2、N2O等杂质的快速分析，双通道相互独立连接不同采样点，恒温分析可实现全天候连续分析。并充分发挥岛津TCD在低温条件下性能稳定的优势，降低了NF3热分解提高分析准确性。