半导体企业生产制造过程是一个高水耗过程，且纯水水质对产品品质有至关重要的影响。为确保出水水质符合要求，制备超纯水时需对重要环节的进出水进行监测，监测指标包含总有机碳(TOC)、导电度或水阻值等。通过实时监测掌握水质变化情况，尽早发现问题并采取措施，保证生产用水的品质需求。半导体企业生产废水由有机废水、含氟废水、研磨废水、酸碱废水等混合而成，水污染物包含悬浮物、有机污染物、氨氮等，成分复杂，主要监测指标为COD/TOC、氨氮、铜、PH等。此外，半导体企业生产过程中还会排放有机废气、酸性废气、碱性废气等，包含大量挥发性有机物(VOCs)。VOCs作为我国大气污染防治联防联控的重要污染物，需对进行监

采用全二维气相色谱质谱联用法（GC×GC-qMS），以极性柱InertCap Pure Wax(30 m × 0.25 mm ×0.25 ?m)作为第一维色谱柱，弱极性柱BPX-5 (2.5 m × 0.1 mm ×0.1 ?m)为第二维色谱柱，对火锅底料中的挥发性组分进行分析。在相同条件下，1#火锅底料有193种组分，2#火锅底料有112种组分,信噪比大于200。实验结果显示，GC×GC-qMS在火锅底料香味成分分析及研究领域有很大的优势。

挥发性有机物(VOCs)具有渗透、脂溶及挥发性等特性，故极易经由皮肤接触及呼吸系统而对人体造成危害。对土壤中VOCs进行定性定量的检测分析，对于了解当地土壤的污染状况有极其重要的意义。本文采用吹扫/捕集-气相色谱质谱联用仪，建立了一种土壤中VOCs的检测方法，该方法操作简单，灵敏度高，适用性强，适合于批量样品的分析。