本文介绍了使用湿法激光粒度仪SALD-7101分析金属硅粉的粒径分布的方法。试验结果表明，该方法快速准确，重现性好，对控制有机硅生产原料的粒度工艺具有重要意义。

本文采用岛津超快速液相色谱仪(UFLC)和电喷雾电离－离子阱－飞行时间串级质谱仪(LCMS-IT-TOF)联用定性检测出氯噻酮样品中的杂质。对氯噻酮和杂质进行多级质谱分析，根据多级质谱裂解规律推导出了杂质的结构式。

傅里叶变换红外光谱分析在半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等方面起到了较大的作用。本文以实际测定为例，介绍了使用岛津IRAffinity-1和衰减全反射附件测定玻璃镀膜（a-SiH）的红外光谱图，计算其薄膜中的氢含量，然后利用岛津分峰软件进行分峰后，计算R因子。