红外显微镜用于分析小于100μm的微小异物。红外显微镜和FTIR一样，可以根据样品的特点，选择透射法、反射法和ATR法。其中，ATR法是使ATR棱镜与样品密切接触，检测样品表面的反射光的方法，可应用于直接分析附着在产品上的异物等场合。本文介绍了使用可以棱镜密切接触时进行可视观察的红外显微镜用金刚石ATR物镜DAOS，分析过滤器捕集的纤维状异物的案例。