Ag Lα源作为XPS分析中的一个高能靶材选项越来越受到重视。Ag Lα源的能量为2984.3 eV，远高于传统的Al Kα源（1486.6 eV），使得Ag Lα XPS测试结果能够提供材料更深层次的信息，此外Ag Lα源经常性被用于消除不同元素俄歇峰与特征轨道谱峰之间的干扰分析。除以上两个特点，Ag靶由于其高能量，可激发出更内层的轨道电子，对于Al靶测试时的不同元素主峰与非特征峰等干扰时，亦可提供其他轨道分析的选择。