近年来，国际上掀起一股“绿色风潮”。特别是在电子电器产品、食品和食品接触性材料、玩具和纺织品领域，这股“绿色风潮”更加迅猛。随着人类的发展，对一些有害化学品的滥用情况日益严重，从而恶化了自然环境及人类生存环境。很多有害物质已经影响人类的健康和生存，因此，在世界范围内加大对有害物质的监管力度势在必行。

半导体企业生产制造过程是一个高水耗过程，且纯水水质对产品品质有至关重要的影响。为确保出水水质符合要求，制备超纯水时需对重要环节的进出水进行监测，监测指标包含总有机碳(TOC)、导电度或水阻值等。通过实时监测掌握水质变化情况，尽早发现问题并采取措施，保证生产用水的品质需求。半导体企业生产废水由有机废水、含氟废水、研磨废水、酸碱废水等混合而成，水污染物包含悬浮物、有机污染物、氨氮等，成分复杂，主要监测指标为COD/TOC、氨氮、铜、PH等。此外，半导体企业生产过程中还会排放有机废气、酸性废气、碱性废气等，包含大量挥发性有机物(VOCs)。VOCs作为我国大气污染防治联防联控的重要污染物，需对进行监

本文采用岛津GC-2030气相色谱仪建立了环境中温室气体及相关污染组成分析的通用型检测平台和测定方法。该方法灵敏度高，TCD检测器分析H2S，方法检出限为40ppm；FID检测器分析CH4、CO和CO2，方法检出限小于0.35ppm，ECD检测N2O和SF6可以达到1ppb；方法整体重复性好，常量组分RSD