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气相色谱法(PDHID检测器)测定六氟化硫中的痕量杂质
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气相色谱法(PDHID检测器)测定六氟化硫中的痕量杂质
2024.04.18
类型: 应用报告
浏览:603
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采用高灵敏度的PDHID检测器,完成一次进样同时分析电子级六氟化硫中的永久性气体(O2、N2、CO、CO2)和氟化碳组分(CF4、C2F6、C3F8)。分析时间在30分钟内,使用目标组分浓度在10ppm左右的标样进行分析,重现RSD≤2%。
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