当样品受到红外光照射时，分子吸收了某些特定频率的辐射，并由其振动或转动运动引起偶极矩的变化，产生分子振动和转动能级从基态到激发态的跃迁，使相应于这些吸收区域的透射光强度减弱。记录红外光在不同波数处的吸收曲线，就得到红外光谱。红外光谱是鉴别物质和分析物质化学结构的有效手段，已被广泛应用于物质的定性鉴别、物相分析和定量测定，不同化合物有不同红外光谱图。 傅里叶变换红外光谱仪和显微镜联用，组成显微红外系统，干涉红外光被高精度地聚焦在待测样品的微小区域，直接测试该特定部位的化学结构，从而得到高质量的红外谱图。该技术灵敏度高，实现微区、微量样品分析，对于微小样品可以给出准确的结果。

方法200.81是一种由美国环境保护局（EPA）开发用于分析地下水、地表水和饮用水中痕量元素的ICP-MS分析方法。EPA 200.8是一种基于无气体模式分析的方法。另一方面，ICP-MS通常配备碰撞/反应池技术，以消除多原子离子等干扰。

本文参考GB/T 14849.4-2014《工业硅化学分析方法 第4部分：杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》，采用湿法消解工业硅粉样品，利用岛津电感耦合等离子体发射光谱仪ICPE-9820测定了样品中杂质元素的含量。分析结果表明，各元素的方法检出限为0.004 mg/kg ~ 6 mg/kg；仪器精密度优良，RSD值小于1.30%（n=6）；样品加标回收率为96.0%~110%。该方法灵敏度高，精密度优良，适用于工业硅粉中杂质元素含量的测定。