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扫描探针显微镜(SPM)表征二氧化硅薄膜材料的表面形貌以及粗糙度
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扫描探针显微镜(SPM)表征二氧化硅薄膜材料的表面形貌以及粗糙度
2022.04.14
类型: 应用报告
浏览:29
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二氧化硅薄膜具有良好的硬度、光学、介电性质及耐磨、抗侵蚀等特性,在光学、微电子等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上广泛关注的功能材料。本文采用岛津扫描探针显微镜(SPM)技术对二氧化硅薄膜样品的表面形貌以及粗糙度进行了表征,对二氧化硅薄膜的制备方法和制备工艺优化提供了一定的指导。
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