本文聚焦钢铁结构材料中磷（P）的晶界偏析现象，使用岛津电子探针显微分析仪对此进行了表征。磷作为钢中常见杂质元素，适量时可固溶强化钢，但过量或晶界偏析会严重危害钢材性能，如引发冷脆性、降低焊接与耐腐蚀性能等。文中展示采用合适的测试方法对不同含量磷的相关实验，都获得了理想的结果。结果表明，岛津电子探针对于有害磷元素的含量及分布的相关工艺研究和参数制定中发挥重要作用。

使用岛津电子探针对某类Fe-Si-B系非晶合金进行了元素面分布特征和微区定量测试，表征了此类非晶合金在样品制备时发生的晶化过程中元素的扩散变化情况。测试结果表明岛津电子探针通过配置高位52.5°的X射线检出角以及兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体，对于超轻元素具有很高的测试灵敏度，对于元素含量的相对波动变化具有很好的测试效果。

使用岛津电子探针显微分析仪EPMA-1720对某类DLC（diamond-like carbon，类金刚石）膜的表面缺陷进行了观察、元素测试及元素面分布特征分析。确认了缺陷中元素的种类和含量、元素在缺陷位置的分布特点，讨论了表面上尺寸大小不等的微观点状缺陷可能会带来的工程材料失效问题。