在食品制造厂、化学品制造厂、第三方检测等单位中，对异物进行分析的需求日益增加。伴随着上述需求的扩大，人们对适合金属等无机物分析的能量色散型荧光X 射线分析装置（EDX）和擅长有机物分析的傅立叶红外分光光度计（FTIR）的关注度逐渐提高，利用两台设备对同一个样品进行分析的情况增加。但是，除了设备给出的数据外，结果判定还会受到分析人员的知识和经验的影响。于是，我们开发了对EDX 和FTIR 测定数据进行综合分析的业内首款“EDX-FTIR 综合分析软件EDXIR-Analysis”。本软件的详情刊载于Application News No.A522A1) 以及A5272)

本文使用热裂解-气相色谱质谱联用仪对抛光液样品分别进行裂解气模式（EGA）分析和双步裂解模式（Double-Shot）分析，通过谱库检索功能可获得样品中大分子聚合物和低沸点小分子的信息。该方法样品用量少，操作简单，结果可靠，可较全面地定性抛光液中的有机成分。