X射线光电子能谱（XPS）是一种在距离对样品表面约10 nm的深度范围内，进行元素定性、定量以及分析化学结合状态的表面分析方法。XPS是一种有效的材料表面分析方法，广泛应用于半导体和电池材料等材料的研发领域。另一方面，由于XPS无法检测出氢，因此需要分析表面上的羟基时，仅使用XPS可能难以完成评价。例如，表面的羟基对硅晶圆镜面之间的键合会产生很大影响1)。由于XPS难以明确判别硅的氧化物和氢氧化物，因此同时使用其他科可评价氢含量的表面分析方法，从多角度评价样品可以说是很重要的。 反射式电子能量损失谱（REELS）作为一种可分析化学状态和电子结构的表面分析方法而备受瞩目。其可以实现XPS难以检测

变压器在承受电负荷和热负荷时，绝缘油和各种成分会发生分解，其副产物会以气态化合物的形式溶解到变压器油中。对这些气体的分析称为溶解气体分析（DGA），是对变压器绝缘油取样进行的一种常见分析，可以显示变压器的健康状况、寿命和潜在错误状态。鉴于与现代电力基础设施相关的变压器数量庞大且不断增加，检测实验室面临的一个普遍问题是，接收大量样品进行分析的能力有限。ASTM D3612方法C规定对变压器油进行自动顶空取样，与其他用于DGA分析的取样方法（如真空抽提或使用脱气柱）相比，分析效率更高（如分别采用ASTM D3612方法A和B）。 与既往设计相比，本应用方法采用了先进的技术和工艺，提高了通用性和可靠

针对不锈钢样品的特点建立指定元素的基本参数法，首先以标准样品建立校准曲线，结合合适浓度的标样，依据元素含量与荧光强度之间的关系求出强度重叠系数，登记求得的重叠系数到组条件，在登记了重叠系数的前提下测定元素荧光强度，建立基本参数法校准方程。依据GB/T 6379.6-2009《测量方法与结果的准确度 第6部分：准确度值的实际应用》并参考SN/T2079-2008《不锈钢及合金钢分析方法 X-射线荧光光谱法》对方法的精密度及正确度进行了考察，分析结果良好。