使用岛津电子探针显微分析仪EPMA-1720对某类DLC（diamond-like carbon，类金刚石）膜的表面缺陷进行了观察、元素测试及元素面分布特征分析。确认了缺陷中元素的种类和含量、元素在缺陷位置的分布特点，讨论了表面上尺寸大小不等的微观点状缺陷可能会带来的工程材料失效问题。

由可再生能源（如太阳能、风能或潮汐能）提供动力的水分解是目前最有希望大规模生产商业化绿色氢气的方法。而缓慢的阳极析氧反应（OER）被认为是当前水电解研究的主要挑战。激活氧化物基催化剂的晶格氧为将反应途径从传统的吸附质演化机制（AEM）转变为新型晶格氧机制（LOM）提供了一种新的方法，通过突破线性缩放限制，降低过电位，从而降低总能耗。利用缺陷工程和异质结界面工程构建的富含氧空位的Fe2O3-CeO2纳米异质结材料（表示为Fe2O3@CeO2-OV）具有优异的电催化活性。采用X射线光电子能谱（XPS）和相关表征手段对合成的电催化剂成分进行测量分析，揭示其具有优异电催化性能的原因。

使用岛津电子探针对某类Fe-Si-B系非晶合金进行了元素面分布特征和微区定量测试，表征了此类非晶合金在样品制备时发生的晶化过程中元素的扩散变化情况。测试结果表明岛津电子探针通过配置高位52.5°的X射线检出角以及兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体，对于超轻元素具有很高的测试灵敏度，对于元素含量的相对波动变化具有很好的测试效果。