根据《HJ 662-2013 水泥窑协同处置固体废物环境保护技术规范》与《GB 30760-2014 水泥窑协同处置固体废物技术规范》中对于用作燃料投入的油液类废物的残留重金属等元素进行限定，而岛津EDX-7000/8100 能量色散型X 射线荧光光谱仪能够进行快速定性或定量分析油液类废物的残留元素，方便快捷、无需化学前处理。下面介绍岛津EDX-7000/8100 能量色散型X 射线荧光光谱法在油液类废物中的分析应用。

本文参考江苏省预防医学会发布的团体标准《T/JPMA 004-2019 生活饮用水中16种β-内酰胺类药物残留的测定 液相色谱-串联质谱法》，使用岛津三重四极杆液质联用仪建立了快速分析方法。该方法采用内标法定量，线性关系良好，相关系数均大于0.997；取0.5 μg/L浓度标准溶液连续进样6针，保留时间和峰面积的相对标准偏差分别在0.04~0.09%和1.25~4.76%之间，仪器精密度良好；平均加标回收率在62.7%~113.3%之间，回收率良好。该方法灵敏可靠，可供相关行业人员参考使用。

光刻胶是微电子制造的核心材料之一，具有极高的技术壁垒，其成分配方工艺对光刻产品的性能具有重大影响。本文探索建立红外光谱定性分析光刻胶主要成分的方法，通过测试烘干光刻胶溶剂前后的红外光谱图，结合标准谱库和官能团分析等手段，可获得光刻胶中主要成分信息。该法具有分析速度快、操作简单、成本低和结果可靠等优势，可作为分析光刻胶成分的手段之一。