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GCMS法测定三氯氢硅中3种甲基氯硅烷含量
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GCMS法测定三氯氢硅中3种甲基氯硅烷含量
2024.10.22
类型: 应用报告
浏览:240
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本文参考相关行业标准,利用岛津
GCMS
-QP2020 NX气质联用仪,建立了三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷和甲基三氯硅烷3种甲基氯硅烷含量的检测方法。在0.5~100 mg/kg范围内,3种甲基氯硅烷化合物线性关系良好,相关系数均在0.999以上。取1.0 mg/kg的标准混合溶液,连续5针,进行重复性测试,各组分峰面积RSD均小于5%。加标回收实验中,3种化合物平均回收率均在90%以上。该方法操作简便,能够有效的测定三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的含量。
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