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GCMS结合大气浓缩仪测定洁净室内空气中65种VOCs
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GCMS结合大气浓缩仪测定洁净室内空气中65种VOCs
2024.11.20
类型: 应用报告
浏览:228
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本文利用岛津
GCMS
-QP2020 NX气质联用仪结合液氮制冷型大气浓缩仪,建立了芯片制造厂洁净室内空气中65种挥发性有机物(VOCs)的测定方法。结果显示:在0.1~6.0 nmol/mol浓度范围内,各组分标准曲线线性良好,相关系数均在0.995以上。以浓度为0.5 nmol/mol的标气连续进样6次,各组分峰面积RSD%范围在1.71~6.34%之间,精密度良好。该方法操作简单,定量数据准确可靠,可用于芯片制造厂洁净室内空气中VOCs的检测。
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