本文利用岛津XRF-1800波长色散X射线荧光光谱仪，采用玻璃熔片法制样，建立了测定工业硅生产用碳质材料中杂质元素的方法。碳质材料经灼烧除碳，杂质元素会富集至灰分中，称量一定量的灰分与专用熔剂按一定比例混合，高温熔融制备成玻璃片，用X荧光光谱仪进行测定。碳质材料的灰分与粘土化学成分类似，以粘土标样为基础建立工作曲线，工作曲线线性良好，相关系数r在0.9999以上，此方法可以准确测定碳质材料杂质元素化学成分，满足工业硅生产对碳质材料杂质成分的检测要求。

岛津PDA-8000型直读光谱仪所独有的定电流放电功能，在分析金属材料中的微量元素时，可以实现极高的稳定性，本文利用岛津PDA-8000型光谱仪建立了纯锌的分析方法，并评价了该方法的精密度。

本文采用GC-2030气相色谱，TCD检测器，一次进样实现工业氢气中O2、Ar、N2的分析，分析时间8min以内，1mL进样最低检出限可达35ppm，连续六次进样，峰面积重复性RSD%均小于1，仪器表现出良好的稳定性和灵敏度，均优于GB/T 3634.1-2006的分析需求，且采用十通阀加反吹设计避免水分等重组分对MS-13X分析筛色谱柱的影响，一次进样也避免重复操作造成的误差及人工浪费，该装置也可用于管道冲洗氮气中微量O2的分析。