2021年工信部印发关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》的通告，将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体如高纯一氟甲烷等33种气体列为重点新材料。电子特气的发展进入有序的快车道。电子特气的质量管控主要针对纯度的控制，气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算，气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。岛津公司自进入中国以来，一直积极应对石化、电子气体、工业气体等行业的需要，及时提供整体解决方案，满足用户应用需求。最新推出的《岛津电子特气分析解决方案》，供参考。

本文介绍了一种气相色谱-三重四极杆质谱法（GC-MS/MS）测定土壤中包含BDE-209在内的26种多溴联苯醚（PBDEs）的分析方法。方法使用岛津GCMS-TQ8050结合MRM模式进行检测，采用13C标记同位素内标法定量。针对BDE-209响应弱采用了检测器电压程序升高的方法，在标样浓度范围内具有良好的线性（线性相关系数R2>0.999）。最低浓度点连续进样6针各组分峰面积的相对标准偏差（RSD）均在16%以下。分析了五个环境土壤样品，主要以BDE-209为主，各净化内标的方法回收率范围60.3-107.6%。

采用高灵敏度的PDHID检测器，完成一次进样同时分析电子级六氟化硫中的永久性气体（O2、N2、CO、CO2）和氟化碳组分（CF4、C2F6、C3F8）。分析时间在30分钟内，使用目标组分浓度在10ppm左右的标样进行分析，重现RSD≤2%。