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IRXross和红外聚焦附件对微小样品的测定
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IRXross和红外聚焦附件对微小样品的测定
2024.04.22
类型: 应用报告
浏览:28
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红外光束聚焦附件,可以将光斑缩小,测试微小样品及较大样品上的微小区域,可配合使用不同的夹具,测试不同类型的样品。本文使用XYZ样品台及1.5 mm光阑样品架测试了晶圆片中1.8 mm直径的微处理单元的红外光谱,比较微处理不同区域的红外光谱透射率的差异,为晶圆片的质量管控和工艺优化提供指导。
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