本文分别采用单色Al靶、单色Ag靶、双阳极Mg靶作为X射线源表征GaN半导体材料，可以得到三种靶材时的各元素精细谱结果，单色Ag靶作为激发源时可以使Ga LMM俄歇峰与N 1s主峰有效分离，得到准确的化学态分析结果。

尖晶石相Li4Ti5O12材料用作电极具有安全性好、可靠性高和寿命长的优点，在快充大巴车、超级电容器和储能电池方面有很大的潜在应用价值。本文使用岛津XRD-7000衍射仪测试了掺镁钛酸锂电极材料，对得到的数据进行了物相解析，并完成了Rietveld精修，拟合结果良好，Rwp值为4.9%，通过Rietveld精修得到晶格常数和晶粒尺寸，这些参数与钛酸锂的充放电能力密切相关。该方法适用于钛酸锂电极材料的研发和质量控制工作。

EDX-8100 是可搭载氦气置换单元（选配品）的轻元素高灵敏型荧光X射线分析装置。通过使用本单元，可以实现对液体或者其它无法在真空下测试的试样中所含的轻元素进行高灵敏度分析。因此，使用EDX-8100可以测定过去使用EDX-8000无法分析的溶液中的氟（F）。对溶液中F～K元素，在He氛围下的的检出限和装载样品的薄膜对分析性能的影响进行了评价。