使用岛津电子探针对热轧复合板界面结合处元素的分布和扩散特征进行了面分析和线分析，可以掌握具体热处理工艺过程中元素的扩散深度和浓度，计算对应的扩散物理量。测试结果表明岛津电子探针通过配置高位52.5°的X射线检出角以及兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体，对于超轻元素具有很高的测试灵敏度，对于元素含量的相对微量波动变化具有很好的测试效果。