使用岛津电子探针测试了FeMnCrNi、FeCoCrNi体系高熵合金，其由两种相构成，基体相和封闭的晶界相。不同元素间结合的难易程度、构成基体相或分布于晶界位置，会受到元素种类及含量以及不同的热处理工艺参数的影响。测试结果表明，岛津电子探针具有高灵敏度元素测试的特征，可以直观地面分析表征不同元素分布的特征，为高熵合金的热力学研究、元素扩散动力学分析等方面提供数据支持。