使用岛津电子探针显微分析仪EPMA-1720对某类DLC（diamond-like carbon，类金刚石）膜的表面缺陷进行了观察、元素测试及元素面分布特征分析。确认了缺陷中元素的种类和含量、元素在缺陷位置的分布特点，讨论了表面上尺寸大小不等的微观点状缺陷可能会带来的工程材料失效问题。

轫致辐射所产生的X射线信号由于原理本身而并不能在检测器端屏蔽，其必然会叠加到元素测试所使用的特征X射线信号的检测，对结果分析产生干扰，甚至会使结果产生严重的假象数据，误导分析人员。本文探讨了超轻元素和微量元素测试中轫致辐射所产生的信号对测试结果的影响，以及在测试之前如何发现和规避这方面的干扰，结合岛津电子探针软件中的功能并综合运用多种分析方法，给出了背景信号分析的应对解决方案。

本文利用岛津方法开发系统，结合Labsolutions MD软件，开发11种染料成分的分析方法。使用Labsolutions MD软件，基于方法开发系统可实现不同流动相和色谱柱的自动切换、调整，降低液相条件开发的时间。本文使用了三根色谱柱、两种流动相体系和45种梯度条件进行方法优化，探索11种染料成分分离的最佳液相条件；展示了Labsolutions MD软件可基于UV光谱、MS质谱等参数，使用峰追踪（i-PeakTracer）功能对色谱峰进行自动追踪识别的特点，以及“ANOVA“和”model Analysis”功能可评价得分探索最优分析方法的