Ag Lα源作为XPS分析中的一个高能靶材选项越来越受到重视。Ag Lα源的能量为2984.3 eV，远高于传统的Al Kα源（1486.6 eV），使得Ag Lα XPS测试结果能够提供材料更深层次的信息，此外Ag Lα源经常性被用于消除不同元素俄歇峰与特征轨道谱峰之间的干扰分析。除以上两个特点，Ag靶由于其高能量，可激发出更内层的轨道电子，对于Al靶测试时的不同元素主峰与非特征峰等干扰时，亦可提供其他轨道分析的选择。

轫致辐射所产生的X射线信号由于原理本身而并不能在检测器端屏蔽，其必然会叠加到元素测试所使用的特征X射线信号的检测，对结果分析产生干扰，甚至会使结果产生严重的假象数据，误导分析人员。本文探讨了超轻元素和微量元素测试中轫致辐射所产生的信号对测试结果的影响，以及在测试之前如何发现和规避这方面的干扰，结合岛津电子探针软件中的功能并综合运用多种分析方法，给出了背景信号分析的应对解决方案。

使用岛津电子探针显微分析仪EPMA-1720对某类DLC（diamond-like carbon，类金刚石）膜的表面缺陷进行了观察、元素测试及元素面分布特征分析。确认了缺陷中元素的种类和含量、元素在缺陷位置的分布特点，讨论了表面上尺寸大小不等的微观点状缺陷可能会带来的工程材料失效问题。