利用薄膜生长法获得的界面高温超导材料是超导领域的一个重要研究方向。由于电子探针定量测试基体修正模型中首先假设电子束与试样交互作用区域的均质性，这种界面高温超导材料的层状膜结构给电子探针的定量测试带来一定的问题。本文以多层复合膜Sb-BaTiO3界面高温超导材料为例，梳理了测试流程。对于干扰谱线的确认和扣减问题进行了方法说明，探讨了基体修正ZAF方法的选择，以期获得更为理想的测试结果。