热轧钢材不同工艺阶段以及不同处理参数条件下，其表层形成氧化铁皮层的微观结构，包括物相构成、各层厚度、微观形貌特征等都会有所不同，这些微观结构会影响到后续处理工艺参数的制定。综合应用岛津电子探针的各种功能，对某种热轧钢板表面的氧化铁皮各层进行了物相分布的确认，结果表明在测试中选择合适的分析条件，每种方法都可以获得理想的测试效果。测试数据可为热轧钢材的工艺参数优化，提高产品质量以及研究钢的氧化行为提供数据支持。