本文参考GB/T 14849.5-2014《工业硅化学分析方法 第5部分:元素含量的测定 X 射线荧光光谱法》，利用岛津XRF-1800波长色散型X射线荧光光谱仪，采用粉末压片制样方法，测定多晶硅中杂质元素含量。利用工业硅标准样品建立相应工作曲线，各杂质元素标准曲线线性良好，平行测定10次，各杂质组分分析精度良好。方法适用于多晶硅中铁、铝、钙、锰、镍、钛、铜、磷、镁、铬、钒、钴含量的测定，满足多晶硅生产对杂质成分的检测需求。

通过对跌落分离失效音圈组件的微区分析，确认了振膜球顶上残留的异物形貌特征、元素种类及含量，对于判断异物源从而采取措施避免再次出现失效具有指导意义。微区异物分析结果显示，岛津电子探针EPMA-1720对于低含量元素及轻元素都具有很好的检出性。

制备液质是一种将混合物分离纯化为目标化合物而广泛使用的技术手段。然而，鉴定目标化合物并确定馏分的纯度需要花费大量时间，因此实现这些过程的自动化将有助于缩短纯化工作所需的时间。本文将介绍一种Nexera Prep系列的系统配置，该系统可使用质谱触发进行简单制备，并使用循环制备液质系统完成纯度确认的高通量分析。