Ag Lα源作为XPS分析中的一个高能靶材选项越来越受到重视。Ag Lα源的能量为2984.3 eV，远高于传统的Al Kα源（1486.6 eV），使得Ag Lα XPS测试结果能够提供材料更深层次的信息，此外Ag Lα源经常性被用于消除不同元素俄歇峰与特征轨道谱峰之间的干扰分析。除以上两个特点，Ag靶由于其高能量，可激发出更内层的轨道电子，对于Al靶测试时的不同元素主峰与非特征峰等干扰时，亦可提供其他轨道分析的选择。

使用岛津电子探针对某类Fe-Si-B系非晶合金进行了元素面分布特征和微区定量测试，表征了此类非晶合金在样品制备时发生的晶化过程中元素的扩散变化情况。测试结果表明岛津电子探针通过配置高位52.5°的X射线检出角以及兼具灵敏度和分辨率的全聚焦分光晶体，对于超轻元素具有很高的测试灵敏度，对于元素含量的相对波动变化具有很好的测试效果。

使用岛津电子探针测试了FeMnCrNi、FeCoCrNi体系高熵合金，其由两种相构成，基体相和封闭的晶界相。不同元素间结合的难易程度、构成基体相或分布于晶界位置，会受到元素种类及含量以及不同的热处理工艺参数的影响。测试结果表明，岛津电子探针具有高灵敏度元素测试的特征，可以直观地面分析表征不同元素分布的特征，为高熵合金的热力学研究、元素扩散动力学分析等方面提供数据支持。