本文利用岛津GC-2010 Pro气相色谱仪，结合高灵敏度、通用型BID检测器建立了分析高纯氦气中杂质的方法。该方法采用带隔垫吹扫的六通阀进样，分析高纯氦气中微量H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、C2H4、C2H6、C2H2，具有灵敏度高、稳定性强的特点。使用BID检测器方法检出限H2＜1.0ppm，其他组分＜0.5ppm；重复性好，RSD%≤2.0%；使用在线开关阀，连接好标气或者催化反应气，设定方法后，可实现无人值守，快速分析。

本文使用岛津气相色谱仪Nexis GC-2030 SCD建立了测定氢气中的微量硫化氢、羰基硫、甲硫醇、乙硫醇、甲硫醚、二硫化碳、叔丁硫醇、甲基乙基硫醚、乙硫醚、四氢噻吩等形态硫的分析方法。使用自动气体进样阀，样品经DB-Sulfur毛细柱分离后进入SCD检测；结果显示：上述硫化物检测下限为10ppb(V/V)级；在1.0~20.0mg/m3的浓度范围内，10种硫化物标准曲线线性相关系数均优于0.9998；峰面积RSD均优于1%（n=4），本方法重复性和灵敏度良好，分析时间短，可用于氢气种微量硫化物组分的测定。

本文应用基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪（MALDI-TOF）对光刻胶样品进行分析，采用反-2-[3-(4-叔丁基苯基)-2-甲基-2-亚丙烯基]丙二腈（DCTB）基质，在正离子模式下进行数据采集，结果显示，在m/z 1-3600范围内，检测到一系列不同聚合度的质谱峰，相邻质谱峰平均相差约120 Da，与酚醛树脂单体-(C8H8O)n-分子量相符，聚合物质谱分布模式与酚醛树脂理论结构式相符。结果表明MALDI-TOF适用于光刻胶中酚醛树脂的分子量表征和合成情况确认，分析过程具有无需复杂前处理、分析速度快、分析成本低的特点。