“微区分析”是相对于常规面积分析的说法。对于一些原矿物分析、缺陷分析、不均匀物的剖析、异物分析等，岛津推出了专利的500um微区分析功能。 相对于电子探针等的几个微米甚至数百纳米的分析来讲，这种微区分析仍属于“大面积”分析，但对于宏观的了解，这绝对是“微区”分析。通过这种微区分析可以获得样品的区域情况，也可以进行“Mapping”分析，给出某面积下相关元素的分布情况。