通过XPS可以了解材料表面10nm厚度的元素化学态信息，而通过ARXPS可以将分析深度进一步降低到1~3nm。但是ARXPS数据的解析是困难的，本文说明了如何通过MEM软件来对ARXPS数据进行重构得到深度剖析曲线。同时通过Minibeam VI团簇离子枪对表面污染进行去除，研究了表面污染对MEM结果的影响。