聚合物薄膜是重要的有机材料，在半导体、显示屏、太阳能电池到腐蚀防护及包装材料等领域都有很多应用。岛津公司研制的Minibeam VI型团簇离子枪促进了对有机薄膜材料的研究。在很多文章中都有报道，通过团簇离子枪结合XPS可以对有机薄膜进行元素化学态和深度剖析研究。本篇文章研究了聚合物交联度对团簇枪刻蚀过程的影响。