电子元器件的失效及潜在的缺陷直接关系到电子产品的可靠性。本文使用岛津电子探针EPMA对电子元器件的铜合金部件不同位置处的肉眼可见变色异常失效进行了解析。结果显示部件表面不同的晶粒度和粗糙度以及腐蚀斑块和刮擦条痕导致局部出现明显的色差。这些局部的变色异常将会导致电子元器件出现导电不良甚至开路的失效问题。相对于常见的扫描电镜SEM+能谱仪EDS，微区分析仪器EPMA对于分析轻元素和微量元素具有更高的灵敏度，对于确认腐蚀介质和污染源能提供更准确的判断依据。

本文应用基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪（MALDI-TOF）对光刻胶样品进行分析，采用反-2-[3-(4-叔丁基苯基)-2-甲基-2-亚丙烯基]丙二腈（DCTB）基质，在正离子模式下进行数据采集，结果显示，在m/z 1-3600范围内，检测到一系列不同聚合度的质谱峰，相邻质谱峰平均相差约120 Da，与酚醛树脂单体-(C8H8O)n-分子量相符，聚合物质谱分布模式与酚醛树脂理论结构式相符。结果表明MALDI-TOF适用于光刻胶中酚醛树脂的分子量表征和合成情况确认，分析过程具有无需复杂前处理、分析速度快、分析成本低的特点。

本文使用岛津气相色谱仪，多阀多柱分离技术，甲烷转化炉(MTN)和氢火焰离子化检测器（FID）以及电子捕获检测器（ECD）建立了4分钟内测定微量甲烷、一氧化二氮和二氧化碳等温室气体的快速分析方法。阀切技术和多通道同时使用避免了氧气和水对ECD的干扰也缩短了分析时间，本方法具有重复性和灵敏度良好，分析时间短，操作简单等特点。