玻璃由于具有优异的力学性质、高透光率及易加工性，被广泛的应用于建筑、日用、艺术、电子、仪表等领域。玻璃中如果存在气泡、划痕、夹杂物缺陷时，会严重影响玻璃的质量。对于玻璃的缺陷检测，目前常用的检测方法利用偏振光扫描，但该方法很难判断玻璃表面缺陷的凸凹类型，也无法进行缺陷处的元素分布分析。在本文采用扫描探针显微镜（SPM）和电子探针显微分析（EPMA）技术，观测玻璃表面的缺陷类型及缺陷处的元素分布，对玻璃生产加工工艺及质量控制可以起到一定的指导作用。