硫酸铜电镀液在半导体制造工艺中常用于电镀、刻蚀等关键环节，其所含有的有机污染物严重影响芯片等产品的性能，对硫酸铜电镀液中的总有机碳（TOC）含量进行精准检测是保障半导体产品质量的重要环节。本文使用总有机碳分析仪TOC-V WP，采用直接法测试了半导体用硫酸铜电镀液中总有机碳含量，该方法操作简便，分析速度快，重现性好，适用于半导体用硫酸铜电镀液中TOC含量测试，为半导体用硫酸铜电镀液中有机物污染控制提供了可靠的技术支持。

使用岛津UHPLC方法开发系统串联三重四极杆质谱LCMS-8050，进行11种溴酚类同分异构体化合物分析方法建立过程中流动相和色谱柱的考察和分析。该实验考察了三款色谱柱和6种流动相在通用梯度条件下对样品中各化合物分离分析的影响，通过谱图对比综合考虑， NH4Ac-MeOH和Inertsil ODS-4为适合该样品分析的流动相体系和色谱柱。

本文利用岛津GCMS-QP2020气相色谱-质谱联用仪结合PY-3030D多功能热裂解进样器建立了电子产品中邻苯二甲酸酯的分析方法。以1000 mg/kg的邻苯二甲酸酯树脂标准品进行重复性实验，各组分峰面积RSD均小于8%（n=5）。该方法适用于电子产品中邻苯二甲酸酯的快速筛查定量。