本文参考GB/T 14849.5-2014《工业硅化学分析方法 第5部分:元素含量的测定 X 射线荧光光谱法》，利用岛津XRF-1800波长色散型X射线荧光光谱仪，采用粉末压片制样方法，测定工业硅中杂质元素含量。利用工业硅标准样品建立相应工作曲线，各杂质元素标准曲线线性良好，平行测定10次，各组分精度良好。方法适用于工业硅中铁、铝、钙、锰、镍、钛、铜、磷、镁、铬、钒、钴含量的测定，满足工业硅生产对杂质成分的检测需求。

本文使用岛津GCMS-QP2020 NX气相色谱质谱联用仪结合HS-20顶空自动进样器建立了组合聚醚中二氟一氯甲烷、一氟三氯甲烷和一氟二氯乙烷的检测方法。样品置于密封顶空瓶中，50℃平衡后，经GCMS进行分析，以SIM方式进行采集，内标法定量。在5~100 μg的浓度范围内相关系数R在0.999以上。5 μg标准溶液放入6个20 mL顶空瓶中连续进样，峰面积RSD%均小于3%。该方法简单易操作，是组合聚醚中3种氯氟烃含量的理想分析方法。

含硫有机恶臭类气体的人体嗅觉阈值极低，在很低的浓度下人体即可感知到。此类化合物会对呼吸道产生刺激性，具有神经毒性，危害人体健康。大量的含硫有机废气都是通过固定污染源排放扩散至大气环境中，所以检测固定污染源废气中含硫有机化合物含量具有重要的意义。本研究采用岛津GCMS-QP2020 NX结合ENTECH 7200大气预浓缩仪分析固体污染源废气中8种含硫有机化合物的含量，在 20-280 nmol/mol浓度范围内标准曲线线性良好，相关系数均在0.999以上。连续6针低浓度标样测试RSD%均处于1.4-8.3%范围之间，方法的精密度优良。在空白样品中分别对2个不同浓度进行6次加标测试，得到各组分的