半导体企业生产制造过程是一个高水耗过程，且纯水水质对产品品质有至关重要的影响。为确保出水水质符合要求，制备超纯水时需对重要环节的进出水进行监测，监测指标包含总有机碳(TOC)、导电度或水阻值等。通过实时监测掌握水质变化情况，尽早发现问题并采取措施，保证生产用水的品质需求。半导体企业生产废水由有机废水、含氟废水、研磨废水、酸碱废水等混合而成，水污染物包含悬浮物、有机污染物、氨氮等，成分复杂，主要监测指标为COD/TOC、氨氮、铜、PH等。此外，半导体企业生产过程中还会排放有机废气、酸性废气、碱性废气等，包含大量挥发性有机物(VOCs)。VOCs作为我国大气污染防治联防联控的重要污染物，需对进行监

本文使用岛津GCMS-TQ 8040 NX 结合HS-20 NX捕集模式分析水中9种苯系物的含量。结果表明，使用捕集模式分析，9种苯系物线性良好，校准曲线最低点重复性RSD均低于6%，其峰面积比采用定量环模式更高。因此采用捕集模式，可以大大提高水中9种苯系物测定的分析检测灵敏度。

短链氯化石蜡是一种新型污染物，广泛的使用于快速消耗品（如儿童玩具）中。本研究使用岛津GCMS-QP2020 NX气相色谱质谱联用仪，建立了NCI负化学源测定儿童用品中SCCPs的方法。采用多类型标准品，通过氯含量-总响应因子作图，线性拟合相关系数良好(R>0.94)。以3倍信噪比(peak to peak)计算氯含量55.5%SCCPs标准品的检出限，LOD为0.90 µg/mL；对该标准品重复进样6次，峰面积的相对标准偏差在7%以内。该方法前处理简单，仪器分析重现性好、灵敏度高、结果较可靠，可有效应对儿童用品中SCCPs的测定。