本文参考相关行业标准，利用岛津GCMS-QP2020 NX气质联用仪，建立了三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷和甲基三氯硅烷3种甲基氯硅烷含量的检测方法。在0.5~100 mg/kg范围内，3种甲基氯硅烷化合物线性关系良好，相关系数均在0.999以上。取1.0 mg/kg的标准混合溶液，连续5针，进行重复性测试，各组分峰面积RSD均小于5%。加标回收实验中，3种化合物平均回收率均在90%以上。该方法操作简便，能够有效的测定三氯氢硅中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的含量。

参考标准：2020年版《中国药典》四部通则《2341 农药残留量测定法》第五法 药材及饮片（植物类）中禁用农药多残留测定法

聚合物薄膜是重要的有机材料，在半导体、显示屏、太阳能电池到腐蚀防护及包装材料等领域都有很多应用。岛津公司研制的Minibeam VI型团簇离子枪促进了对有机薄膜材料的研究。在很多文章中都有报道，通过团簇离子枪结合XPS可以对有机薄膜进行元素化学态和深度剖析研究。本篇文章研究了聚合物交联度对团簇枪刻蚀过程的影响。