柔性全固态薄膜锂电池可以有效解决当前商用锂离子电池的安全性问题，并具有较长的使用寿命，在可穿戴、柔性显示等领域具有非常广阔的应用前景。锂磷氮氧（LiPON）作为固态电解质，具有离子电导率高、热稳定性好和电化学窗口宽等优点，在全固态薄膜电池中有重要的应用价值。本文采用X射线光电子能谱技术（XPS）对LiPON电解质进行深度分析，以研究不同氩离子刻蚀模式对锂离子定量的影响。

参考国家标准《GB/T 223.88-2019 钢铁及合金 钙和镁含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法》，利用岛津电感耦合等离子体发射光谱仪ICPE-9820测定了钢铁及合金中痕量钙和镁元素含量。分析结果表明，该方法检出限为钙0.19 μg/g、镁0.11 μg/g，钙、镁测定结果与标准物质标准值一致，该方法灵敏度高，重复性良好，可用于钢铁及合金中痕量钙、镁元素含量的快速测定。

通过软件的荧光强度重叠校正功能扣除钠元素对氧元素的重叠干扰，以内部标准样品建立元素校准曲线，以元素质量分数根据相应公式计算电解质分子比。对分子比的测定精度进行了考察，分析结果符合行业标准YS/T 739-2010《铝电解质分子比及主要成分的测定 X 射线荧光光谱法》，测定结果可用于指导生产。