本文建立了热脱附-气相色谱质谱联用仪测定固定污染源排气中8种酯类化合物含量的分析方法。结果表明：在5~500 ng浓度范围内，各化合物的线性相关系数R均在0.999以上，线性关系良好。方法检出限为0.014~0.077 ng。取50 ng的标准溶液重复进样6次，各组分峰面积的相对标准偏差（RSD%）均在3.87%以下，精密度良好。实际样品在含量为50 ng的加标水平下，各组分的基质加标回收率为70.6~97.8 %。本方法参照HJ732-2014，HJ 734-2014，GBZ/T 160.63-2007 和GBZ/T 160.64-2007等标准，操作简单、灵敏度高，可作为固定污染源中酯类化

三氯氢硅是生产多晶硅的原料，但其中的微量杂质会大大影响多晶硅的导电性能，从而影响太阳能电池的转换效率。本文建立了气相色谱质谱(GCMS)测定三氯氢硅中的杂质甲基二氯氢硅的方法。甲基二氯氢硅在1~100 ng/mL的范围内，相关系数r大于0.997，且方法的重现性好，相对标准偏差小于3%。

本方案采用岛津GCMS-QP2020 NX对泊沙康唑起始物料中甲酰肼杂质进行检测。结果显示，1.0 mg/L浓度下化合物峰面积RSD%分别小于7.65；在0.20~10 mg/L的浓度范围内线性相关系数均大于0.999；检出限小于0.05 mg/L，对实际样品进行低、中、高浓度加标测试，加标回收率在68%~112%之间。方法重现性好，灵敏度高，前处理简单，满足甲酰肼分析的要求。