自1958年第一块集成电路诞生以来，以集成电路为核心的微电子技术被认为是信息社会发展的驱动器。微电子产业已经超过诸多传统产业，发展成为全球经济增长的支柱产业，越来越多的国家开始重视其相关技术的发展。近年来，我国微电子技术发展迅速，涌现出众多的集成电路制造､设计与封测企业。随着物联网､云计算､大数据､人工智能以及5G等新兴技术应用需求的快速增加，微电子产业在国民经济和国防建设中的战略地位日益凸显。 为发展中国微电子产业，国家先后出台了多项政策和规划。2014年，国务院印发的《国家集成电路产业发展推进纲要》中指出：集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性､基础性和

本文利用岛津GC-2010 Pro气相色谱仪结合热解析自动进样器，建立了室内空气TVOC含量的检测方法。采用外标法定量，在50~2000 μg/mL浓度范围内建立标准曲线，线性关系良好，各化合物的相关系数R≧0.999。选择添加质量为100 ng混合标准溶液作为对照品，对照品进行6次平行测试，测定各化合物峰面积的重复性RSD%均小于5.0%。添加混合标准溶液低中高三个浓度，平均回收率71.7%~117.8%之间。该方法操作简单，灵敏度高，可用于室内空气TVOC的检测。

噻吩等硫成分在会使催化剂中毒，同时燃烧时会产生二氧化硫污染大气，因此在石油质量管理控制中需要使用高灵敏度的检测器进行分析。作为使用气相色谱法的分析实例，在应用方法No. G291 中介绍了使用火焰光度检测器（FPD）进行的分析。ASTM D7011介绍了一种分析苯中痕量噻吩的方法，使用化学发光硫检测器（SCD）作为气相色谱检测器，检出限约为0.03 mg / kg，比GC-FPD方法低。新型硫化学发光检测系统Nexis SCD-2030（图1）是具有一流灵敏度、稳定性、选择性地检测硫化合物种类的系统。本文中介绍了依据ASTM D7011使用Nexis SCD-2030分析苯中噻吩的高灵敏度分析